“我们的实验正在测试高密度石英质料制作的镜头，在颠末多次反射折射以后，停止色差赔偿的计划……”
从尝试记录的成果上面来看，明显泛翰个人已经对高密度石英，停止了全面的激光测试。测试进度起码已经达到了80的程度，要晓得当全数测试完成以后，接下来要停止的就是镜片设想事情了。进入这个阶段，根基便能够看作是0.35微米工艺光刻机技术开辟，进入到最后的步奏了。
准分子激光普通是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体，遭到电子束激起构成的激光。光子能量波长范围在157－353nm之间，因为激光是在气体遭到外来能量的激起，所引发的一系列物理及化学反应中，曾经构成但转眼即逝的分子收回的，以是被称之为准分子激光。
一旁的日本翻译，精确的将江清月的这句话翻译了畴昔，这让城三太郎面前一亮。光刻机镜头的研发，是非常破钞款项的。目前的亚微米阶段，固然比将来的纳米期间要便宜的多，等闲也是要几亿美圆扔出来，才气有点服从出来。一家中国企业，因为开辟光刻机而耗光了资金，仿佛并不是过分奇特的事情。
中国人甚么时候有这类程度了？这不科学啊！收起心中的惊奇，城三太郎大要上安静下来，冒充点头道：“你们在没有内部帮忙的环境下，能够做到这一步确切非常的不轻易了。不过目前看来石英质料带来的折射率，还是没法满足技术需求的。在我们日本，更加偏向于利用镥铝柘榴石来制作镜头。它的2.1折射率，能够极大的缩小线宽工艺。”
当今国际上，如果把芯片出产技术分红三个层次。那么1.2到0.8微米，能够算是上点层次的三流技术，至于1.2微米以上、乃至2微米以上的技术，已经根基没有存在的代价了。而0.5微米技术，能够算是二流技术，是现当代界上晶圆厂的支流程度。至于0.35微米工艺，就连尼康也不过才方才把握罢了。
这类激光的一个特性是寿命极短，只要几十毫微秒的时候。超越这个时候，收回激光的分子，就会敏捷复原成本来的气体状况。此中193nm波长的激光，就是用来作为医治远视等眼部疾病利用的激光刀。同时，193nm的激光也是后代光刻机遍及利用的波长。
“这……”江清月的神采不由得丢脸起来，有些活力的说道：“我们的技术线路分歧，一定就不能持续相沿石英质料镜头吧？何况现在研讨院已经在这项尝试上投入了很大一笔资金，这时候再变动研讨方向，个人那里拿得出来这笔钱？”